@misc{CTT100725659,
  author = {福田真},
  title = {シンクロトロン放射光を利用した露光装置における超精密駆動・位置決めに関する研究},
  year = 1996,
}



@phdthesis{CTT100725659,
  author = {福田真},
  title = {シンクロトロン放射光を利用した露光装置における超精密駆動・位置決めに関する研究},
  school = {東京工業大学},
  year = 1996,
}