@misc{CTT100725597,
  author = {金子忠夫},
  title = {円筒陰極型マグネトロンスパッタ装置の開発とその応用},
  year = 1999,
}



@phdthesis{CTT100725597,
  author = {金子忠夫},
  title = {円筒陰極型マグネトロンスパッタ装置の開発とその応用},
  school = {東京工業大学},
  year = 1999,
}