|
|
研究業績一覧 (2件)
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
  - 全件表示
論文
-
Kazuaki Suzuki,
N. Hirayanagi,
T. Fujiwara,
A. Yamada,
J. Ikeda,
T. Yahiro,
S. Kojima,
J. Udagawa,
H. Yamamoto,
N. Katakura,
M. Suzuki,
T. Aoyama,
H. Takekoshi,
T. Umemoto,
H. Shimizu,
S. Fukui,
S. Suzuki,
T. Okino,
Y. Ohkubo,
T. Shimoda,
T. Tanida,
Y. Watanabe,
Y. Kohama,
K. Ohmori,
F. Mori,
S. Takemoto,
T. Yoshioka,
H. Hirose,
K. Morita,
K. Hada,
S. Kawata,
Y. Kakizaki,
T. Miura.
Full-field exposure performance of electron projection lithography tool,
J. Vac. Sci. Technol. B,
American Vacuum Society,
Vol. 22,
No. 6,
pp. 2885-2890,
Dec. 2004.
-
Kazuaki Suzuki,
T. Fujiwara,
S. Kojima,
N. Hirayanagi,
T. Yahiro,
J. Udagawa,
S. Shimizu,
H. Yamamoto,
M. Suzuki,
H. Takekoshi,
S. Fukui,
M. Hamashima,
J. Ikeda,
T. Okino,
H. Shimizu,
S. Takahashi,
A. Yamada,
T. Umemoto,
S. Katagiri,
Y. Ohkubo,
T. Shimoda,
K. Hirose,
T. Tanida,
Y. Watanabe,
T. Kaminaga,
Y. Kohama,
F. Mori,
S. Takemoto,
T. Yoshioka,
H. Hirose,
K. Morita,
K. Hada,
S. Kawata,
T. Sato,
Y. Sato,
M. Tokunaga,
K. Okamoto,
Y. Kakizaki,
T. Miura.
First dynamic exposure results from an electron projection lithography tool,
J. Vac. Sci. Technol. B,
American Vacuum Society,
Vol. 21,
No. 6,
pp. 2686-2690,
Dec. 2003.
[ BibTeX 形式で保存 ]
[ 論文・著書をCSV形式で保存
]
[ 特許をCSV形式で保存
]
|
各種検索
サポート
ヘルプ