|
|
研究業績一覧 (3件)
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
  - 全件表示
論文
-
Kazuaki Suzuki,
N. Hirayanagi,
T. Fujiwara,
A. Yamada,
J. Ikeda,
T. Yahiro,
S. Kojima,
J. Udagawa,
H. Yamamoto,
N. Katakura,
M. Suzuki,
T. Aoyama,
H. Takekoshi,
T. Umemoto,
H. Shimizu,
S. Fukui,
S. Suzuki,
T. Okino,
Y. Ohkubo,
T. Shimoda,
T. Tanida,
Y. Watanabe,
Y. Kohama,
K. Ohmori,
F. Mori,
S. Takemoto,
T. Yoshioka,
H. Hirose,
K. Morita,
K. Hada,
S. Kawata,
Y. Kakizaki,
T. Miura.
Full-field exposure performance of electron projection lithography tool,
J. Vac. Sci. Technol. B,
American Vacuum Society,
Vol. 22,
No. 6,
pp. 2885-2890,
Dec. 2004.
-
Kazuaki Suzuki,
T. Fujiwara,
S. Kojima,
N. Hirayanagi,
T. Yahiro,
J. Udagawa,
S. Shimizu,
H. Yamamoto,
M. Suzuki,
H. Takekoshi,
S. Fukui,
M. Hamashima,
J. Ikeda,
T. Okino,
H. Shimizu,
S. Takahashi,
A. Yamada,
T. Umemoto,
S. Katagiri,
Y. Ohkubo,
T. Shimoda,
K. Hirose,
T. Tanida,
Y. Watanabe,
T. Kaminaga,
Y. Kohama,
F. Mori,
S. Takemoto,
T. Yoshioka,
H. Hirose,
K. Morita,
K. Hada,
S. Kawata,
T. Sato,
Y. Sato,
M. Tokunaga,
K. Okamoto,
Y. Kakizaki,
T. Miura.
First dynamic exposure results from an electron projection lithography tool,
J. Vac. Sci. Technol. B,
American Vacuum Society,
Vol. 21,
No. 6,
pp. 2686-2690,
Dec. 2003.
国際会議発表 (査読なし・不明)
-
T. Miura,
S. Kawata,
K. Hada,
Y. Kakizaki,
M. Miyazaki,
Kazuaki Suzuki,
N. Hirayanagi,
A. Yamada,
J. Ikeda,
T. Yahiro,
J. Udagawa,
H. Takekoshi,
T. Umemoto,
Y. Ohkubo,
T. Shimoda,
T. Tanida,
Y. Watanabe,
K. Ohmori,
F. Mori,
S. Takemoto,
T. Yoshioka,
K. Morita.
Nikon EPL tool: the latest development status and results,
SPIE Microlithography,
Proceeding of SPIE,
Vol. 5751,
pp. 471-482,
2005.
[ BibTeX 形式で保存 ]
[ 論文・著書をCSV形式で保存
]
[ 特許をCSV形式で保存
]
|
各種検索
サポート
ヘルプ