@inproceedings{CTT100931314,
  author = {飯嶋 航大 and 谷口 公太 and 大槻秀夫 and 神野 莉衣奈 and 遠西美重 and 松谷晃宏 and 太田 泰友 and 岩本 敏},
  title = {α-Ga2O3 導波路作製に向けたPECVD 成膜 a-C:H 膜のAr プラズマエッチング耐性評価},
  booktitle = {},
  year = 2025,
}