@inproceedings{CTT100931314, author = {飯嶋 航大 and 谷口 公太 and 大槻秀夫 and 神野 莉衣奈 and 遠西美重 and 松谷晃宏 and 太田 泰友 and 岩本 敏}, title = {α-Ga2O3 導波路作製に向けたPECVD 成膜 a-C:H 膜のAr プラズマエッチング耐性評価}, booktitle = {}, year = 2025, } @inproceedings{CTT100933354, author = {甲斐 航 and 林 文博 and 張 成昆 and 吉見 拓展 and 雨宮 智宏 and 太田 泰友 and 岩本 敏 and 中川茂}, title = {バレートポロジーを活用した円偏光生成器の作製と評価}, booktitle = {}, year = 2025, }