@inproceedings{CTT100928865,
  author = {布施太翔 and 松永尚樹 and 岡村俊吾 and 黒原啓太 and 伊東壮真 and 野澤俊輔 and 白倉孝典 and 若林整},
  title = {TMDC膜質のIn-situ-ALD-Al2O3カバー成膜時基板温度依存性},
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  year = 2024,
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