@article{CTT100500665, author = {阿部馨督 and 天谷賢治 and 青木繁}, title = {逆解析を利用しためっき膜厚のモニタリング}, journal = {境界要素法論文集}, year = 2004, } @article{CTT100500666, author = {阿部 馨督 and 天谷 賢治 and 青木 繁 }, title = {薄板構造を含むポテンシャル場に対する特別な重み関数を利用した境界要素法解析}, journal = {日本機械学会論文集}, year = 2004, } @article{CTT100480638, author = {青木 繁 and 天谷 賢治 and 阿部 馨督}, title = {シリコンウェハへの電気めっきの最適化}, journal = {日本機械学会論文集 A編}, year = 2002, } @misc{CTT100596581, author = {Keisuke Abe}, title = {シリコンウェハへの電気めっきの最適化およびモニタリング手法の開発}, year = 2002, } @mastersthesis{CTT100596581, author = {Keisuke Abe}, title = {シリコンウェハへの電気めっきの最適化およびモニタリング手法の開発}, school = {東京工業大学}, year = 2002, }