@misc{CTT100725526,
  author = {野村秀史},
  title = {基板上に形成された薄膜の残留応力と構造},
  year = 2013,
}



@phdthesis{CTT100725526,
  author = {野村秀史},
  title = {基板上に形成された薄膜の残留応力と構造},
  school = {東京工業大学},
  year = 2013,
}