@inproceedings{CTT100667785,
  author = {渡辺正裕 and 池谷吉史 and 杉浦秀和 and 吉田和史},
  title = {イオンビームアシストを用いた低オフ角Si(111) 基板上へのCaF<sub>2</sub>エピタキシャル成長},
  booktitle = {},
  year = 1997,
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