@inproceedings{CTT100937711,
  author = {杉山萌 and 田邊容由 and 下田将之 and 高橋篤司},
  title = {EUVリソグラフィシミュレーション高速化のための CNN学習用カーブリニアマスクパターン生成},
  booktitle = {DAシンポジウム2025 論文集},
  year = 2025,
}