@misc{CTT100602563,
  author = {西澤秀明},
  title = {銅CMPにおける表面反応の解析と広幅配線用スラリーに関する研究},
  year = 2007,
}



@phdthesis{CTT100602563,
  author = {西澤秀明},
  title = {銅CMPにおける表面反応の解析と広幅配線用スラリーに関する研究},
  school = {東京工業大学},
  year = 2007,
}