@inproceedings{CTT100939286, author = {Xin Ling and 吉田和弘 and 金俊完}, title = {内蔵ECFマイクロポンプにより駆動遅延を軽減できる肺機能チップデバイスの提案}, booktitle = {日本機械学会山梨講演会2025予稿集}, year = 2025, }