@inproceedings{CTT100829170,
  author = {草深 一樹 and Sunglin Tsai and 星井 拓也 and 若林 整 and 筒井 一生 and 角嶋 邦之},
  title = {スパッタリングによって形成したAlScN膜のリーク電流の評価},
  booktitle = {},
  year = 2019,
}

@inproceedings{CTT100829175,
  author = {蔡 松霖 and 草深 一樹 and 星井 拓也 and 若林 整 and 筒井 一生 and 角嶋 邦之},
  title = {スパッタリングを用いたAlScN膜の形成},
  booktitle = {},
  year = 2019,
}