草深一樹研究業績一覧 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

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草深一樹研究業績一覧 (2件)

国内会議発表 (査読なし・不明)

草深一樹, Sunglin Tsai, 星井拓也, 若林整, 筒井一生, 角嶋邦之. スパッタリングによって形成したAlScN膜のリーク電流の評価, 第80回応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2019.
蔡松霖, 草深一樹, 星井拓也, 若林整, 筒井一生, 角嶋邦之. スパッタリングを用いたAlScN膜の形成, 第80回応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2019.

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