@inproceedings{CTT100829171,
  author = {太田 惇丈 and 宋 禛漢 and 星井 拓也 and 若林 整 and 筒井 一生 and 角嶋 邦之},
  title = {原子層堆積法を用いたイットリウムシリケート薄膜の形成},
  booktitle = {},
  year = 2019,
}