@inproceedings{CTT100869460, author = {Kazuki Watanabe and Ryoya Kai and Naho Kaneko and Shohei Hisatomi and Tomoaki Oga and Satoru Kaneko and Akifumi Matsuda and Mamoru Yoshimoto}, title = {Excimer Laser Crystallization and Doping of Epitaxial Ga2O3 Thin Films for Ultraviolet Optoelectronics Devices}, booktitle = {}, year = 2021, } @inproceedings{CTT100869444, author = {渡邉 一樹 and 甲斐 稜也 and 大賀 友瑛 and 金子 智 and 松田 晃史 and 吉本 護}, title = {エキシマレーザーアニーリングによる不純物ドープGa2O3薄膜の固相結晶化および特性評価}, booktitle = {}, year = 2021, } @inproceedings{CTT100869450, author = {渡邉 一樹 and 甲斐 稜也 and 大賀 友瑛 and 金子 智 and 松田 晃史 and 吉本 護}, title = {室温でのパルスレーザー照射によるエピタキシャルβ-Ga2O3薄膜の作製とドーピングの影響}, booktitle = {}, year = 2021, } @inproceedings{CTT100869454, author = {甲斐 稜也 and 渡邉 一樹 and 大賀 友瑛 and 金子 智 and 松田 晃史 and 吉本 護}, title = {エキシマレーザーアニーリングを用いたポリマー基板上におけるGa2O3薄膜の固相結晶化}, booktitle = {}, year = 2021, }