@inproceedings{CTT100810520, author = {東梨奈 and 小平行秀 and 松井知己 and 高橋篤司 and 児玉親亮 and 野嶋茂樹}, title = {0-1二次計画法によるプロセスばらつきを考慮したモデルベースマスク補正手法}, booktitle = {電子情報通信学会技術研究報告 (VLD2018-70)}, year = 2018, }