@article{CTT100911326, author = {Yosuke Shimada and Hiroshi Akatsuka}, title = {Evaluating plasma fluctuation by collisional-radiative model using Malliavin derivative}, journal = {Japanese Journal of Applied Physics}, year = 2024, } @article{CTT100911345, author = {Hiroshi Akatsuka}, title = {Quantitative analysis of optical emission spectroscopy for plasma process monitoring}, journal = {Japanese Journal of Applied Physics}, year = 2024, } @article{CTT100908567, author = {Kiyoyuki Yambe and Tomoya Izumida and Iwao Ohyama and Hiroshi Akatsuka}, title = {Comparison of Electron Densities and Temperatures in Helium and Argon Nonthermal Atmospheric-Pressure Plasmas by Continuum Spectral Analysis}, journal = {IEEE Transactions on Plasma Science}, year = 2024, } @article{CTT100908519, author = {Yuya Yamashita and Kenta Doi and Tetsuji Kiyota and Kenta Ishi and Shuhei Watanabe and Wataru Kikuchi and Atsushi Nezu and Hiroshi Akatsuka}, title = {Spatial distribution diagnosis of electron temperature and density of argon inductively coupled plasma by tomographic optical emission spectroscopic measurement and collisional-radiative model}, journal = {J. Vac. Sci. Technol. A}, year = 2024, } @inproceedings{CTT100911579, author = {赤塚 洋}, title = {発光分光および機械学習を用いたプラズマの電子温度・密度の実用的計測}, booktitle = {R052 DXプラズマプロセス委員会 第5 回研究会 要旨集}, year = 2024, } @inproceedings{CTT100909733, author = {Kenta Ishi and Kenta Doi and Tetsuji Kiyota and Yuya Yamashita and Kazuma Yoneda and Shuhei Watanabe and Kazuki Shimatani and Atsushi Nezu and Hiroshi Akatsuka}, title = {Population Kinetics and Number Densities of Excited Species in Nitrogen Inductively Coupled Plasma}, booktitle = {Proc. ISPlasma2024/IC-PLANTS2024/APSPT-13}, year = 2024, } @inproceedings{CTT100910224, author = {菊地 航行 and 山下 雄也 and 根津 篤 and 赤塚 洋}, title = {大気圧非平衡 Ar プラズマの連続・線スペクトルに基づいた重み付き解析}, booktitle = {第71回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集}, year = 2024, } @inproceedings{CTT100910225, author = {山下 雄也 and 土居 謙太 and 清田 哲司 and 渡邊 修平 and 島谷 和希 and 菊地 航行 and 根津 篤 and 赤塚 洋}, title = {トモグラフィック発光分光計測によるフッ素原子コロナモデルに基づくCF4/O2プラズマの電子温度診断}, booktitle = {第71回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集}, year = 2024, } @inproceedings{CTT100908453, author = {石健太 and 土居謙太 and 清田哲司 and 山下雄也 and 米田和真 and 渡邊修平 and 島谷和希 and 根津篤 and 赤塚洋}, title = {誘導結合窒素プラズマ中の励起状態数密度と電子温度の関係性に関する議論}, booktitle = {第41回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス}, year = 2024, } @inproceedings{CTT100908454, author = {渡邊修平 and 土居謙太 and 清田哲司 and 山下雄也 and 菊地航行 and 石健太 and 根津篤 and 赤塚洋}, title = {誘導結合酸素プラズマの発光分光計測}, booktitle = {第41回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス}, year = 2024, } @inproceedings{CTT100908455, author = {山下航平 and 菊地航行 and 石健太 and 榎本純 and 根津篤 and 赤塚洋}, title = {Ar/N2混合大気圧非平衡プラズマにおける振動温度・回転温度の発光分光計測}, booktitle = {第41回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス}, year = 2024, } @inproceedings{CTT100908456, author = {島田陽介 and 赤塚洋}, title = {マリアバン微分を用いたプラズマゆらぎの制御法にむけて}, booktitle = {第41回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス}, year = 2024, } @inproceedings{CTT100908457, author = {山下雄也 and 土居謙太 and 清田哲司 and 菊地航行 and 石健太 and 渡邊修平 and 根津篤 and 赤塚洋}, title = {改良分光トモグラフィアルゴリズムによるアルゴン誘導結合プラズマの電子温度・電子密度の空間分布診断}, booktitle = {第41回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス}, year = 2024, }