発明者,発明の名称,種別,状態,出願人,出願日,出願番号,公開日,公開番号,登録日,登録番号
"川崎剛美,岡畑惠雄","反射光強度測定用積層構造体、反射光測定用積層構造体を含んでなる装置、並びに薄膜の膜厚及び／又は質量及び／又は粘度測定方法","特許","公開","国立大学法人東京工業大学","2011/03/10","特願2012-504518","2013/06/27","特開（再表）2011/111785",,