発明者,発明の名称,種別,状態,出願人,出願日,出願番号,公開日,公開番号,登録日,登録番号
"角嶋邦之,川那子高暢,宗清修,LEIYIMING,古橋　壮之,三浦　成久","半導体装置及びその製造方法","特許","登録","国立大学法人東京工業大学, 三菱電機株式会社","2014/08/28","特願2014-173714","2016/04/07","特開2016-048758","特許第6270667号","2018/01/12"