水熱合成法により成膜したPZT多結晶膜を用いた小型超音波プローブの特性評価

Publication Information

Title

Japanese:	水熱合成法により成膜したPZT多結晶膜を用いた小型超音波プローブの特性評価
English:

Author

Japanese:	長谷川智仁, 石河睦生, 黒澤実, 竹内真一.
English:	Tomohito Hasegawa, Mutsuo Ishikawa, Minoru Kuribayashi Kurosawa, Shinichi Takeuchi.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	電気学会論文誌C
English:

Volume, Number, Page

vol. 131 no. 6 pp. 1174-1180

Published date

June 2011

Publisher

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Conference name

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