同位体原料からのアモルファス炭素膜の作製

Publication Information

Title

Japanese:	同位体原料からのアモルファス炭素膜の作製
English:	Deposition of amorphous carbon films from isotopic methane gases

Author

Japanese:	鈴木裕太郎, 鈴木常生, 大竹尚登, 赤坂大樹.
English:	Yutaro Suzuki, Tsuneo Suzuki, Naoto Ohtake, Hiroki Akasaka.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第60回応用物理学会学術講演会講演要項集
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 27, 2013

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	2013年春季第60回応用物理学会学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	厚木市
English: