スパッタリング法によるY-HZO強誘電体厚膜の室温製膜とその電気特性および圧電特性評価

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Title

Japanese:	スパッタリング法によるY-HZO強誘電体厚膜の室温製膜とその電気特性および圧電特性評価
English:

Author

Japanese:	志村礼司郎, 三村和仙, 舘山明紀, 清水荘雄, 白石貴久, 舟窪浩.
English:	Reijiro Shimura, Takanori Mimura, Akinori Tateyama, Shimizu Takao, Takahisa Shiraishi, HIROSHI FUNAKUBO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
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Published date

Mar. 16, 2021

Publisher

Japanese:
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Conference name

Japanese:	第68回応用物理学会春季学術講演会
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