"中川 茂樹,横澤 諒,飯田 大介,高村 陽太,中光 豊,清田 哲司","スパッタＷ膜形成時の内部応力in-situ観測による成長機構解析","2025年 第72回応用物理学会春期学術講演会",,,"  16p-K504-10",,,2025,Mar.
"中川茂樹,横澤諒,飯田大介,佐々木康宣,高村陽太,中光豊,神保 武人","高基板温度におけるスパッタ膜形成時の内部応力in-situ観測","第85回 応用物理学会秋期学術講演会",,,"  16a-C31-10",,,2024,Sept.