"市川 崇志,新島 宏文,古賀 達也,山根 大輔,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,曽根 正人,町田 克之,益 一哉","3軸Au錘MEMS加速度センサにおける検出電極構造の検討","令和元年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会",,,,,"pp. 67-72",2019,July "市川 崇志,新島 宏文,古賀 達也,山根 大輔,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,曽根 正人,町田 克之,益 一哉","3軸Au錘MEMS加速度センサにおける平行平板型電極の検討","第66回応用物理学会春季学術講演会",,,,,,2019,Mar. "市川 崇志,新島 宏文,古賀 達也,山根 大輔,小西 敏文,佐布 晃昭,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,町田 克之,益 一哉","Au単一錘平行平板型3軸MEMS加速度センサの検討","第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(センサ・マイクロマシン部門大会)",,,,,,2018,Oct. "新島 宏文,乙部 翔太,高安 基大,山根 大輔,小西 敏文,佐布 晃昭,伊藤 浩之,年吉 洋,町田 克之,益 一哉","高感度MEMS加速度センサのBrownian Noise評価に関する検討","第64回応用物理学会春季学術講演会",,,,,,2018,Mar. "新島 宏文,乙部 翔太,高安 基大,山根 大輔,伊藤 浩之,佐布 晃昭,小西 敏文,道正 志郎,飯田 慎一,石原 昇,町田 克之,益 一哉","単一Au錘3軸差動MEMS加速度センサの検討","平成30年電気学会全国大会",,,,,,2018,Mar. "Hirofumi Niijima,Motohiro Takayasu,Daisuke Yamane,Toshifumi Konishi,Teruaki Safu,Hiroyuki Ito,Shiro Dosho,Noboru Ishihara,Katsuyuki Machida,Kazuya Masu","A Novel Tri-Axis MEMS Accelerometer with a Single Au Proof Mass and Fully Differential Sensing Electrodes","The 30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference",,,,,,2017,Nov. "新島 宏文,高安 基大,山根 大輔,小西 敏文,佐布 晃昭,伊藤 浩之,年吉 洋,町田 克之,益 一哉","静電容量型MEMSセンサにおけるブラウニアン・ノイズ評価手法の検討(2)","第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム",,,,," 01am2-PLN-8",2017,Oct.