"中川 茂樹,横澤 諒,飯田 大介,高村 陽太,中光 豊,清田 哲司","スパッタW膜形成時の内部応力in-situ観測による成長機構解析","2025年 第72回応用物理学会春期学術講演会",,," 16p-K504-10",,,2025,Mar. "飯田大介,高村陽太,中川茂樹","RTA の合金化プロセスにおける熱電ホイスラー合金Fe2VAl 薄膜の作製","第85回 応用物理学会秋期学術講演会",,," 17p-C301-3",,,2024,Sept. "中川茂樹,横澤諒,飯田大介,佐々木康宣,高村陽太,中光豊,神保 武人","高基板温度におけるスパッタ膜形成時の内部応力in-situ観測","第85回 応用物理学会秋期学術講演会",,," 16a-C31-10",,,2024,Sept. "飯田大介,熊谷洋志,高村 陽太,中川 茂樹","RTAの合金化プロセスにおける不純物形成の抑制と高品質な熱電ホイスラー合金Fe2TiAl薄膜の作製","2024年第71回応用物理学会春期学術講演会",,," 24p-P05-28",,,2024,Mar.