"星野憲文,中川恭成,野平博司,室 隆桂之,加藤 有香子,甲斐隆行,金成国,パールハットアヘメト,角嶋邦之,水野文二,木下 豊彦,筒井一生,服部健雄,岩井洋","光電子分光によるSi中Asの化学結合状態評価","第56回応用物理学関係連合講演会","第56回応用物理学関係連合講演会予稿集","応用物理学会",,"No. 2","pp. 883",2009,Mar. "中川恭成,野平博司,酒井一憲,横田 知之,甲斐 隆行,金成国,パールハットアヘメト,角嶋邦之,水野文二,服部健雄,筒井一生,岩井洋","光電子分光によるSi中Asの活性化状態の深さ方向分布評価","秋季第69回応用物理学会学術講演会","応用物理学会","応用物理学会",,"No. 2","pp. 738",2008,Sept. "酒井一憲,中川恭成,横田知之,金成国,岡下勝己,佐々木雄一朗,パールハットアヘメト,角嶋邦之,水野文二,服部健雄,筒井一生,岩井洋","3次元Fin構造中不純物プロファイリングのための反復犠牲酸化エッチング","秋季第69回応用物理学会学術講演会","秋季第69回応用物理学会学術講演会予稿集","応用物理学会",,"No. 2","pp. 749",2008,Sept. "酒井一憲,渡邉将光,中川恭成,金 成国,岡下 勝己,佐々木雄一朗,パールハットアヘメト,角嶋邦之,水野 文二,服部健雄,筒井一生,岩井洋","極浅接合プロファイリングのための反復犠牲酸化エッチング技術","春季第55回応用物理学会学術講演会","春季第55回応用物理学会学術講演会予稿集","応用物理学会",,"No. 2","pp. 900",2008,Mar.