"横田知之,酒井一憲,パールハットアヘメト,筒井一生,岩井洋","反復剥離法による3次元Fin構造中ドーピングプロファイル測定の提案","第56回応用物理学関係連合講演会","第56回応用物理学関係連合講演会予稿集","応用物理学会",,"No. 2","pp. 873",2009,Mar.
"中川恭成,野平博司,酒井一憲,横田 知之,甲斐 隆行,金成国,パールハットアヘメト,角嶋邦之,水野文二,服部健雄,筒井一生,岩井洋","光電子分光によるSi中Asの活性化状態の深さ方向分布評価","秋季第69回応用物理学会学術講演会","応用物理学会","応用物理学会",,"No. 2","pp. 738",2008,Sept.
"酒井一憲,中川恭成,横田知之,金成国,岡下勝己,佐々木雄一朗,パールハットアヘメト,角嶋邦之,水野文二,服部健雄,筒井一生,岩井洋","3次元Fin構造中不純物プロファイリングのための反復犠牲酸化エッチング","秋季第69回応用物理学会学術講演会","秋季第69回応用物理学会学術講演会予稿集","応用物理学会",,"No. 2","pp. 749",2008,Sept.