"宮田陽平,金原潤,難波覚,三角元力,筒井一生,野平博司,室隆桂之,木下豊彦,角嶋邦之,パールハットアヘメト,服部健雄,岩井洋","軟X線光電子分光法を用いたFin構造中の不純物化学結合状態分析","第72回応用物理学会学術講演会",,,,,,2011, "田中正興,星野憲文,筒井一生,野平博司,室隆桂之,加藤有香子,木下豊彦,パールハットアヘメト,角嶋邦之,服部健雄,岩井洋","光電子分光により検出したSi中のAsおよびPの化学結合状態の評価","第57回応用物理学関係連合講演会","第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集",,,,"pp. 13-191",2010,Mar.