"山本敏之,藤田壽憲,川嶋健嗣,香川利春,榊和敏","空気圧ベローズで駆動する静圧案内微動ステージの超精密位置決め","第12回流体計測制御シンポジウム","計測自動制御学会産業応用部門講演論文集",,,,"pp. 26-29",2011,Nov. "山本 敏之,藤田壽憲,川嶋健嗣,香川利春,榊 和敏","低流体ノイズ弁による空気圧微動ステージの超精密位置決め制御",,"平成22年秋季フルードパワーシステム講演会講演論文集",,,,"pp. 25?27",2010,Dec.