"布目 敬教,坂元尚紀,篠崎和 夫,鈴木久男,脇谷尚樹","RF マグネトロンスパッタリング法によるPt/MgO/Si （???） ヘテロエピタキシャル成長薄膜電極の作製 ?PZT/Pt/MgO からのPZT/Pt 自立膜の作 製のためのエッチング条件の検討?","日本セラミックス協会第25回秋季シンポジウム","日本セラミックス協会第25回秋季シンポジウム講演予稿集",,,,"  3H24",2012,Sept.