"塩田有波,ChenMo,山田雄太,安岡康一,榊田 創,金 載浩","マイクロ波プラズマCVD法を用いたアークレスハイブリッド直流スイッチ向けグラフェン被膜電極の性能評価","電気学会放電/プラズマ・パルスパワー合同研究会",,,,,"  PPP-18-066",2018,Oct.