"坂井 朗,桃園 聡,平田 敦,青野祐子","レーザ表面改質による石英基板間の液体制御","2023年度精密工学会春季大会学術講演会","2023年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集",,,,"pp. 66-67",2023,Mar.