"Motohiro Takayasu,Ippei Tsuji,Hiroyuki Ito,Daisuke Yamane,Shiro Dosho,Toshifumi Konishi,Noboru Ishihara,Katsuyuki Machida,Kazuya Masu","Microgravity Generation Using Tilting Board for Resolution Evaluation of MEMS Accelerometer",,"Sensors and Materials",,"Vol. 30","No. 12","pp. 2919-2926",2018,Dec. "高安 基大,古賀 達也,辻 一平,伊藤 浩之,山根 大輔,道正 志郎,小西 敏文,飯田 慎一,石原 昇,町田 克之,益 一哉","傾斜を用いた1mG MEMS加速度センサの分解能評価の検討","平成30年 電気学会 全国大会",,,,,,2018,Mar. "古賀 達也,辻 一平,高安 基大,伊藤 浩之,山根 大輔,道正 志郎,小西 敏文,石原 昇,町田 克之,益 一哉","積層メタル技術によるMEMS加速度センサの傾斜時感度特性の検討","第9回 集積化MEMSシンポジウム",,,,,,2017,Oct. "辻 一平,高安 基大,伊藤 浩之,山根 大輔,道正 志郎,小西 敏文,石原 昇,町田 克之,益 一哉","積層メタル技術を用いたMEMS加速度センサの傾斜計応用の検討","第9回集積化MEMSシンポジウム",,,,," 01pm1-A-6",2017,Oct. "辻 一平,高安 基大,伊藤 浩之,山根 大輔,道正 志郎,小西 敏文,石原 昇,町田 克之,益 一哉","積層メタル技術を用いた高感度MEMS慣性センサの傾斜計応用の検討","第78回 応用物理学会 秋季学術講演会",,,,,,2017,Sept. "古賀 達也,辻 一平,高安 基大,伊藤 浩之,山根 大輔,道正 志郎,小西 敏文,石原 昇,町田 克之,益 一哉","積層メタル技術によるMEMS慣性センサの傾斜時感度特性の検討","第78回 応用物理学会 秋季学術講演会",,,,,,2017,Sept. "Ippei Tsuji,Motohiro Takayasu,Hiroyuki Ito,Daisuke Yamane,Shiro Dosho,Toshifumi Konishi,Noboru Ishihara,Katsuyuki Machida,Kazuya Masu","Tilt Characteristics of a MEMS Accelerometer fabricated by Multi-layer Metal Technology","2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017)",,,,,,2017,Sept. "辻 一平,高安 基大,伊藤 浩之,山根 大輔,小西 敏文,道正 志郎,石原 昇,町田 克之,益 一哉","積層メタル技術を用いた高感度MEMS傾斜計の検討","第8回 集積化MEMS技術研究ワークショップ",,,,,,2017,July