"市川崇志,渥美賢,古賀達也,飯田慎一,石原昇,町田克之,益一哉,伊藤浩之","100 nG/√Hzレベルを目指したピラー型電極を有する単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討","第81回 応用物理学会秋季学術講演会",,,,,,2020,Sept.
"Takashi Ichikawa,Ken Atsumi,Tatsuya Koga,Daisuke Yamane,Shin-ichi Iida,Hiroyuki Ito,Noboru Ishihara,Katsuyuki Machida,Kazuya Masu","A 100-nG/√Hz-Level Single Au Proof-Mass 3-Axis MEMS Accelerometer with Pillar-Shaped electrodes","Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS",,,,,,2020,June
"市川 崇志,渥美 賢,古賀 達也,山根 大輔,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,町田 克之,益 一哉","ピラー型電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの感度均一化の検討","第67回応用物理学会春季学術講演会",,,,,,2020,Mar.
"渥美 賢,古賀 達也,市川 崇志,山根 大輔,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,町田 克之,益 一哉","ピラー型電極を用いた単一錘3軸MEMS加速度センサの検討","第67回応用物理学会春季学術講演会",,,,,,2020,Mar.
"市川 崇志,乙部 翔太,渥美 賢,古賀 達也,山根 大輔,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,曽根 正人,町田 克之,益 一哉","3Dピラー型Au錘MEMS加速度センサ","第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム",,,,,"  19am3-PS3-21",2019,Nov.
"市川 崇志,乙部 翔太,渥美 賢,古賀 達也,山根 大輔,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,町田 克之,曽根 正人,益 一哉","Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討 (2)","第80回応用物理学会秋季学術講演会",,,,,,2019,Sept.
"Ken Atsumi,Shota Otobe,Tatsuya Koga,Takashi Ichikawa,Daisuke Yamane,Shinichi Iida,Hiroyuki Ito,Noboru Ishihara,Masato Sone,Katsuyuki Machida,Kazuya Masu","Pillar-Shaped Electrodes for 3-axis Gold-Proof-Mass MEMS Capacitive Accelerometers","Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS(DTIP2019)","IEEE Conference Paper","IEEE",,,,2019,May
"乙部 翔太,渥美 賢,古賀 達也,山根 大輔,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,曽根 正人,町田 克之,益 一哉","Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討","第66回応用物理学会春季学術講演会",,,,,,2019,Mar.
"渥美 賢,乙部 翔太,古賀 達也,市川 崇志,山根 大輔,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,曽根 正人,町田 克之,益 一哉","積層メタル技術によるピラー型容量検出電極の検討","第66回応用物理学会春季学術講演会",,,,,,2019,Mar.
"Daisuke Yamane,Shota Otobe,Ken Atsumi,Tatsuya Koga,Toshifumi Konishi,Teruaki Safu,Shinichi Iida,Hiroyuki Ito,Noboru Ishihara,Katsuyuki Machida,Kazuya Masu","A 3-D PARALLEL-PLATE MEMS ACCELEROMETER WITH A GOLD PROOF MASS","32nd Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2019)",,,,,"pp. 684-687",2019,Jan.
"Shota Otobe,Tatsuya Koga,Ken Atsumi,Daisuke Yamane,Toshifumi Konishi,Teruaki Safu,Shin-ichi Iida,Hiroyuki. Ito,Noboru Ishihara,Katsuyuki Machida,Kazuya Masu","A Sub-1mG Tri-Axis MEMS Accelerometer with Multiple Segmented Capacitance Detection Electrodes","31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2018)",,,,,,2018,Nov.