"大西哲,内山晃宏,柴田滉平,市川崇志,李尚曄,飯田慎一,石原昇,町田克之,益一哉,伊藤浩之","3次元容量検出電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討","第13回集積化MEMSシンポジウム",,,,,,2021,Nov.
"内山晃宏,柴田滉平,大西哲,市川崇志,飯田慎一,李尚曄,石原昇,町田克之,益一哉,伊藤浩之","ワイドレンジAu錘1軸MEMS加速度センサの検討","第13回集積化MEMSシンポジウム",,,,,,2021,Nov.
"大西哲,内山晃宏,柴田滉平,市川崇志,李尚曄,飯田慎一,石原昇,町田克之,益一哉,伊藤浩之","3D容量検出電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討","第82回 応用物理学会秋季学術講演会",,,,,,2021,Sept.
"市川 崇志,古賀 達也,飯田 慎一,石原 昇,町田 克之,益 一哉,伊藤 浩之","単一 Au 錘 3 軸加速度センサのための分割容量検出 2 重電極に関する検討","令和2年度E部門総合研究会",,,,,,2021,July
"Akihiro Uchiyama,Takasi Ichikawa,Kohei Shibata,Shinichi Iida,Sangyeop Lee,Noboru Ishihara,Katsuyuki Machida,Kazuya Masu,Hiroyuki Ito","A MEMS accelerometer with a single axis two proof masses for a wide detection range","Transducers",,,,,,2021,June
"内山晃宏,市川崇志,柴田滉平,飯田慎一,李尚曄,石原昇,町田克之,益一哉,伊藤浩之","ワイドレンジ検出可能なAu錘1軸MEMS加速度センサ の検討","応用物理学会春季学術講演会",,,,,,2021,Mar.
"Takasi Ichikawa,Akihiro Uchiyama,Kohei Shibata,Shinichi Iida,Sangyeop Lee,Noboru Ishihara,Katsuyuki Machida,Kazuya Masu,Hiroyuki Ito","A 3-D capacitive-detection electrode for a single gold proof-mass three-axis MEMS accelerometer","Inertial",,,,,,2021,Mar.
"内山晃宏,市川 崇志,古賀 達也,町田 克之,益 一哉,石原昇,飯田 慎一,伊藤 浩之","Au錘一軸MEMS加速度センサの差動容量型電極構造の検討","第12回集積化MEMSシンポジウム",,,,,,2020,Oct.
"市川 崇志,内山晃宏,古賀 達也,町田 克之,石原昇,益 一哉,飯田 慎一,伊藤 浩之","100 nG/√Hz レベルを目指した分割 2 重電極を有する単一Au錘 3 軸 MEMS 加速度センサの検討","第12回集積化MEMSシンポジウム",,,,,,2020,Oct.
"柴田滉平,市川 崇志,古賀 達也,町田 克之,益 一哉,石原昇,飯田 慎一,伊藤 浩之","高分解能単一Au 錘CMOS-MEMS 加速度センサの検討","第12回集積化MEMSシンポジウム",,,,,,2020,Oct.
"Takashi Ichikawa,Kohei Shibata,Tatsuya Koga,Katsuyuki Machida,Shinichi Iida,Noboru Ishihara,Kazuya Masu,Hiroyuki Ito","A High Resolution Single Gold Proof-Mass CMOS-MEMS Accelerometer","International Conference on Solid State Devices and Materials",,,,,,2020,Sept.
"市川崇志,渥美賢,古賀達也,飯田慎一,石原昇,町田克之,益一哉,伊藤浩之","100 nG/√Hzレベルを目指したピラー型電極を有する単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討","第81回 応用物理学会秋季学術講演会",,,,,,2020,Sept.
"内山晃宏,市川 崇志,古賀達也,飯田慎一,石原昇,町田克之,益一哉,伊藤浩之","マイクロGレベルセンシングのための金錘1軸差動容量型MEMS加速度センサ","第81回 応用物理学会秋季学術講演会",,,,,,2020,Sept.
"Takashi Ichikawa,Ken Atsumi,Tatsuya Koga,Daisuke Yamane,Shin-ichi Iida,Hiroyuki Ito,Noboru Ishihara,Katsuyuki Machida,Kazuya Masu","A 100-nG/√Hz-Level Single Au Proof-Mass 3-Axis MEMS Accelerometer with Pillar-Shaped electrodes","Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS",,,,,,2020,June
"Tatsuya Koga,Takashi Ichikawa,Daisuke Yamane,Shinichi Iida,Noboru Ishihara,Hiroyuki Ito,Katsuyuki Machida,Kazuya Masu","A Gold Proof-Mass Differential MEMS Accelerometer for Micro-G Level Sensing","The 7th IEEE International Symposium on Inertial Sensors & Systems (INERTIAL 2020)",,,,,,2020,Mar.
"市川 崇志,渥美 賢,古賀 達也,山根 大輔,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,町田 克之,益 一哉","ピラー型電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの感度均一化の検討","第67回応用物理学会春季学術講演会",,,,,,2020,Mar.
"渥美 賢,古賀 達也,市川 崇志,山根 大輔,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,町田 克之,益 一哉","ピラー型電極を用いた単一錘3軸MEMS加速度センサの検討","第67回応用物理学会春季学術講演会",,,,,,2020,Mar.
"市川 崇志,古賀 達也,山根 大輔,飯田 慎一,石原 昇,伊藤 浩之,Chang Tso-Fu Mark,曽根 正人,町田 克之,益 一哉","積層メタル技術で作製したMEMS加速度センサの衝撃特性評価","第11回集積化MEMSシンポジウム",,,,,"  19pm4-A-4",2019,Nov.
"伊藤浩之,古賀達也,市川崇志,山根大輔,石原昇,三宅美博,町田克之,益一哉","兆し計測のための高感度MEMS加速度センサ技術","計測自動制御学会 システム・情報部門 学術講演会 2019",,,,,,2019,Nov.
"市川 崇志,乙部 翔太,渥美 賢,古賀 達也,山根 大輔,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,曽根 正人,町田 克之,益 一哉","3Dピラー型Au錘MEMS加速度センサ","第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム",,,,,"  19am3-PS3-21",2019,Nov.
"古賀 達也,市川 崇志,田中 直登,緒方 大樹,大良 宏樹,山根 大輔,石原 昇,伊藤 浩之,曽根 正人,町田 克之,三宅 美博,益 一哉","微弱筋音計測に向けた高分解能MEMS慣性センサモジュールの検討","第11回集積化MEMSシンポジウム",,,,,"  19pm4-A-3",2019,Nov.
"Tatsuya Koga,Takashi Ichikawa,Naoto Tanaka,Taiki Ogata,Hiroki Ora,Daisuke Yamane,Noboru Ishihara,Hiroyuki Ito,Masato Sone,Katsuyuki Machida,Yoshihiro Miyake,Kazuya Masu","High-Sensitivity Inertial Sensor Module to Measure Hidden Micro Muscular Sounds","IEEE Biomedical Circuits and Systems Conference 2019 (BioCAS2019)","IEEE Conference Paper","IEEE",,,,2019,Oct.
"市川 崇志,乙部 翔太,渥美 賢,古賀 達也,山根 大輔,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,町田 克之,曽根 正人,益 一哉","Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討 (2)","第80回応用物理学会秋季学術講演会",,,,,,2019,Sept.
"市川 崇志,新島 宏文,古賀 達也,山根 大輔,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,曽根 正人,町田 克之,益 一哉","3軸Au錘MEMS加速度センサにおける検出電極構造の検討","令和元年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会",,,,,"pp. 67-72",2019,July
"市川 崇志,新島 宏文,古賀 達也,山根 大輔,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,曽根 正人,町田 克之,益 一哉","3軸Au錘MEMS加速度センサにおける平行平板型電極の検討","第66回応用物理学会春季学術講演会",,,,,,2019,Mar.
"渥美 賢,乙部 翔太,古賀 達也,市川 崇志,山根 大輔,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,曽根 正人,町田 克之,益 一哉","積層メタル技術によるピラー型容量検出電極の検討","第66回応用物理学会春季学術講演会",,,,,,2019,Mar.
"市川 崇志,新島 宏文,古賀 達也,山根 大輔,小西 敏文,佐布 晃昭,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,町田 克之,益 一哉","Au単一錘平行平板型3軸MEMS加速度センサの検討","第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（センサ・マイクロマシン部門大会）",,,,,,2018,Oct.