"Takasi Itikawa,Hirofumi Niijima,Sayaka Koga,Daisuke Yamane,Shinichi Iida,Hiroyuki Ito,Noboru Ishihara,Masato Sone,Katsuyuki Machida,Kazuya Masu","3軸Au錘MEMS加速度センサにおける検出電極構造の検討","令和元年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会",,,,,"pp. 67-72",2019,July
"Takasi Itikawa,Hirofumi Niijima,Sayaka Koga,Daisuke Yamane,Shinichi Iida,Hiroyuki Ito,Noboru Ishihara,Masato Sone,Katsuyuki Machida,Kazuya Masu","3軸Au錘MEMS加速度センサにおける平行平板型電極の検討","第66回応用物理学会春季学術講演会",,,,,,2019,Mar.