"Mutsuo Uehara,Mao Kurokawa,Kensuke Akiyama,masaaki matsushima,Hiroshi Uchida,YOSHISATO KIMURA,HIROSHI FUNAKUBO","スパッタリング法によるCa-Mg-Si基膜の作製と特性評価","第76回応用物理学会秋季学術講演会",,,,,,2015,Sept.