"Jumpei Yoshimoto,Yuki Taoka,Shigeki SAITO","柔軟薄膜の複曲面貼り付けを目指したオーセティックパターンを有する双極型静電吸着デバイスの開発","2024年度精密工学会春季大会学術講演会",,,,,,2024,Mar.