"久保 隆顕,吉田和弘,金 俊完","マイクロシートバルブを用いた高出力空気圧マイクロポンプの提案","山梨講演会2022","山梨講演会2022講演論文集","一般社団法人 日本機械学会",,"No. 220-3","pp. A11",2022,Oct.