"Takaaki Kubo,KAZUHIRO YOSHIDA,Joon-wan KIM","A High Power Micropump Using Micro Sheet Valves","2023 26th Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT)","2023 26th Int. Conf. on Mechatronics Technology (ICMT) (IEEE Xplore)","IEEE",,,,2023,Dec. "久保 隆顕,吉田 和弘,金 俊完","マイクロシートバルブを用いた高出力空気圧マイクロポンプに関する研究","日本機械学会 2023年度 年次大会","2023年度年次大会 予稿集","一般社団法人 日本機械学会",,," J111-01 2p",2023,Aug.