"松谷晃宏,遠西美重,藤本美穂,松下祥子","ポジ型電子線レジストSML1000をマスクとして用いたSF6-RIEによるGeのドライエッチング","2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会",,,,,"  20a-P01-5",2022,Sept.
"佐藤美那,遠西美重,松谷晃宏","Ar＋ビーム照射によるSiアモルファスマスクを利用したKOHエッチングによる単一細胞分離プレートとマイクロ流路の作製","第69回 応用物理学会 春季学術講演会",,,,,,2022,Mar.
"遠西 美重,佐藤美那,松下祥子,松谷晃宏","ポリイミドシート上へスパッタ成膜したCr/Ge電極の固体ソースH?Oプラズマを用いた前処理による低抵抗化","第69回応用物理学会春季学術講演会",,,,,,2022,Mar.
"Mina Sato,Mie Tohnishi,Akihiro Matsutani","Microfabrication of Si by KOH Etchant Using Etching Mask Amorphized by Ar Ion Beam",,"Sensors and Materials",,"Vol. 34","No. 1",,2022,Jan.