"志村礼司郎,三村和仙,清水荘雄,舟窪浩","スパッタリング法を用いたY:HfO2強誘電体厚膜の作製とその電気特性評価","第39回電子材料研究討論会",,,,,,2019,Nov.
"P. T. Tue,Reijiro Shimura,T. Shimoda,Yuzuru Yakamura","Direct integration of piezo-actuator array with active-matrix oxide thin-film transistors using a low-temperature solution process",,"Sensors and Actuators A: Physical",,"Vol. 295",,"pp. 125-132",2019,May
"志村礼司郎,三村和仙,清水荘雄,舟窪浩","スパッタリング法により配向制御したHfO2基強誘電体厚膜の作製およびその電気特性評価","第66回応用物理学会春季学術講演会",,,,,,2019,Mar.