"市川 崇志,内山晃宏,古賀 達也,町田 克之,石原昇,益 一哉,飯田 慎一,伊藤 浩之","100 nG/√Hz レベルを目指した分割 2 重電極を有する単一Au錘 3 軸 MEMS 加速度センサの検討","第12回集積化MEMSシンポジウム",,,,,,2020,Oct.
"内山晃宏,市川 崇志,古賀 達也,町田 克之,益 一哉,石原昇,飯田 慎一,伊藤 浩之","Au錘一軸MEMS加速度センサの差動容量型電極構造の検討","第12回集積化MEMSシンポジウム",,,,,,2020,Oct.
"柴田滉平,市川 崇志,古賀 達也,町田 克之,益 一哉,石原昇,飯田 慎一,伊藤 浩之","高分解能単一Au 錘CMOS-MEMS 加速度センサの検討","第12回集積化MEMSシンポジウム",,,,,,2020,Oct.
"Takashi Ichikawa,Kohei Shibata,Tatsuya Koga,Katsuyuki Machida,Shinichi Iida,Noboru Ishihara,Kazuya Masu,Hiroyuki Ito","A High Resolution Single Gold Proof-Mass CMOS-MEMS Accelerometer","International Conference on Solid State Devices and Materials",,,,,,2020,Sept.
"市川崇志,渥美賢,古賀達也,飯田慎一,石原昇,町田克之,益一哉,伊藤浩之","100 nG/√Hzレベルを目指したピラー型電極を有する単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討","第81回 応用物理学会秋季学術講演会",,,,,,2020,Sept.
"内山晃宏,市川 崇志,古賀達也,飯田慎一,石原昇,町田克之,益一哉,伊藤浩之","マイクロGレベルセンシングのための金錘1軸差動容量型MEMS加速度センサ","第81回 応用物理学会秋季学術講演会",,,,,,2020,Sept.
"Takashi Ichikawa,Ken Atsumi,Tatsuya Koga,Daisuke Yamane,Shin-ichi Iida,Hiroyuki Ito,Noboru Ishihara,Katsuyuki Machida,Kazuya Masu","A 100-nG/√Hz-Level Single Au Proof-Mass 3-Axis MEMS Accelerometer with Pillar-Shaped electrodes","Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS",,,,,,2020,June
"市川 崇志,渥美 賢,古賀 達也,山根 大輔,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,町田 克之,益 一哉","ピラー型電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの感度均一化の検討","第67回応用物理学会春季学術講演会",,,,,,2020,Mar.
"渥美 賢,古賀 達也,市川 崇志,山根 大輔,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,町田 克之,益 一哉","ピラー型電極を用いた単一錘3軸MEMS加速度センサの検討","第67回応用物理学会春季学術講演会",,,,,,2020,Mar.
"Tatsuya Koga,Takashi Ichikawa,Daisuke Yamane,Shinichi Iida,Noboru Ishihara,Hiroyuki Ito,Katsuyuki Machida,Kazuya Masu","A Gold Proof-Mass Differential MEMS Accelerometer for Micro-G Level Sensing","The 7th IEEE International Symposium on Inertial Sensors & Systems (INERTIAL 2020)",,,,,,2020,Mar.