"今井 慎也,濱田 昌也,五十嵐 智,宗田 伊理也,角嶋 邦之,筒井 一生,若林 整","硫化プロセスにおけるスパッタMoS2膜質向上の重要性","第80回応用物理学会秋季学術講演会",,,,,,2019,Sept.
"五十嵐 智,望月 祐輔,谷川 晴紀,濱田 昌也,松浦 賢太朗,角嶋 邦之,筒井 一生,若林 整","スパッタMoS2膜とTiSi2膜の界面におけるFGアニールによるコンタクト抵抗低減","第80回応用物理学会秋季学術講演会",,,,,,2019,Sept.