"遠西 美重,佐藤美那,松下祥子,松谷晃宏","固体ソースH?O プラズマを用いて表面処理したポリイミドテープ上のCr/Cu電極の折り曲げ耐久性","第82回応用物理学会秋季学術講演会",,,,,,2021,Sept.
"佐藤美那,遠西美重,松谷晃宏","エッチングマスクとしてAr+イオンビームを照射した 微細マスクパターンを用いたKOH エッチングによるSi の微細加工","第82回 応用物理学会 秋季学術講演会",,,,,,2021,Sept.
"遠西 美重,松谷 晃宏","固体ソースH?O プラズマ処理したポジ型フォトレジストの表面粗さの観察","第68回応用物理学会春季学術講演会",,,,,"  16a-P04-6",2021,Mar.
"Mie Tohnishi,Akihiro Matsutani","Surface Treatment of Polydimethylsiloxane and Glass Using Solid-source H2O Plasma for Fabrication of Microfluidic Devices",,"Sensors and Materials","MYU.K.K","Vol. 33","No. 2","pp. 569-574",2021,Feb.