@inproceedings{CTT100625011,
  author = {浅井達也 and 平田敦},
  title = {レーザ照射による炭化ケイ素表面の元素別選択的除去},
  booktitle = {2011年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集},
  year = 2011,
}