@inproceedings{CTT100766299,
  author = {尾頭篤 and 佐藤真平 and 高橋篤司},
  title = {LELEダブルパターニングにおけるFMアルゴリズムを用いた効率的なパターン局所修正手法},
  booktitle = {電子情報通信学会技術研究報告 (VLD2016-113)},
  year = 2017,
}