@inproceedings{CTT100925188, author = {栗田航輔 and 久保田雄太 and 松下伸広}, title = {スピンスプレー法により作製するMn系酸化物薄膜の結晶相評価とナノ・マイクロ構造観察}, booktitle = {}, year = 2024, }